气动执行器大都是在恶劣的环境中进行作业的，比如高温、高压、强腐蚀等环境中。这使得气动执行器出现故障的几率还是有着一定的增加的。常见的故障有阀体不动作、阀门无法关到零位、气动执行器无反馈信号、信号压力不稳定等。还有一些较为特殊的故障，比如气动执行器控制阀振动。
气动执行器控制阀振动会造成控制系统无法正常工作，其振动原因主要有以下3个：
1、外来振源，即该设备管道本身就有振动。
2、气动执行器控制阀的选用不符合选型的要求，比如流量特性不适合、阀口径偏大、弹簧刚度较差等等，造成控制阀振动。
3、受到流体侵蚀从而产生振动。
处理措施：如果发现是气动执行器管道本身就有的振动，可以对气动执行器管道进行清扫重新调整，使其振动消失。如果是气动执行器控制阀本身问题，可以采用限流孔板去吸收部分压降，降低节流速度，克服阀振动，且限流孔板还可以改变系统固有的频率，避免控制阀固有频率与系统固有频率相接近而产生振动。
